294 index
，

EOS津野の
電子光学講座

 コンタクト eostsuno@yahoo.co.jp
 　

この電子光学講座は、私がコンサルタント業をやっている間に行ったいろいろの 電子光学機器設計の経験に基づいて書いたものです。私の住んでおります多摩地域は、 電子光学製品のメッカになっております。私は、ここでそれらの人達のお世話に なりながら、電子光学機器を必要としているあるいはお使いになっている人たちに それらの動作原理の解説をしたり、新たに新製品を立ち上げようとしている人たちの お手伝いをしておりました。内容の一部、特にヨーロッパ旅行の写真などは会社勤めを していた時の出張で撮ったものです。

.7.3. 画像エネルギー分析器の前夜

目次(全体)

0.最初のページ(このページ)
1.レンズの光学(FromTheGodHand)
2.透過電子顕微鏡(TEM)の電子レンズ
3.走査電子顕微鏡(SEM)レンズ
4.光電子顕微鏡(PEEM)電子レンズ
5.偏向と非点補正
6.収差補正
7.エネルギー・アナライザ(文献から)
8.エネルギー・アナライザ(計算・作成済み)
9. その他(スピン回転器)
10.ヨーロッパ(Czech)訪問
11.著者のページ

1.電子レンズの光学

1.1. FromTheGodHand
1.2. MunroソフトとLencovaソフト
1.3. 電子レンズの用途別の特徴
1.4. 磁界レンズ
1.5. 静電レンズ
1.6. X線発生用磁界レンズ
1.7. 陽電子輸送・収束用磁界レンズ
1.8. 超電導(SCM)電子レンズ技術導入
1.9.高速度カメラ用永久磁石レンズ

2.1. 透過電子顕微鏡TEM

2.1. 電子顕微鏡(TEM)用レンズ
2.2. 一様ビームを作るケーラー照明
2.3. 照射ビーム平行化のレンズ設計
2.4. TEMの分解能限界
2.5_TEMによる磁区観察(位相差TEM)

2.2. 走査像観察装置付きTEM

2.6_高電圧SEMによる磁区観察
b7_走査像観察装置付きTEM(高電圧SEM)による薄膜の磁区観察

3. 走査型電子顕微鏡(SEM)

3.1.1.SEM開発の歴史
3.1.2. 二次電子の発生(他分野から)
3.2.1. 高コントラスト磁場フリーET検出器
3.2.2. 磁場フリー対物レンズと検出器
3.3.1. 磁場中試料型対物レンズを用いたSEM
3.3.2. 日立の高分解能半導体検査SEM
3.4.1. 永久磁石を使ったSEM
3.5.1_ Zeissの高分解能磁場フリーレンズ
3.5.2_ 松定の磁場フリーと浸潤の2条件選択
3.5.3_生物系試料のSEM観察(準備中)
4. 光電子顕微鏡(PEEM)
4.1.光電子顕微鏡PEEM
4.2.myPEEM
4.3.光電子分光
4.4.北大・触媒研朝倉研のPEEM
　　4.5.大きな仕事関数の試料の問題
(仕事関数が数十Vで結像しない原因と対策) 		　 5. 偏向と非点補正　
.5.1. 4極子と一様電場生成の条件
.5.2. 8極子を使った静電偏向器
.5.3. 12極子と20極子による静電偏向
.5.4. 偏向器と非点補正器
.5.5. 静電・磁場偏向器と非点補正器
.5.6. 偏向器と非点補正器のいろいろ
.5.7. 静電8極子のスティグメータ

6. 収差補正　
6.1.球面収差と色収差
6.2.シェルツァーの前提
6.3. 4-8極子によるCs補正
6.4.電場・磁場4極子によるCc補正
6.5.減速電場4極子のCc補正
width="300"> 6.6.HexapoleによるCs補正
6.8.MirrorによるCs、Cc補正

7.エネルギーフィルタ

エネルギー・アナライザ(文献)
.7.1. エネルギー分析装置の分類
.7.2. エネルギー分析装置・ミラー
 .7.4. プリズムミラープリズムフィルタ


.7.エネルギー・アナライザ(計算)
.7.5. 静電プリズム・CDA127
.7.6. 収束静電プリズム・SDA180
.7.7. ダブルhemisphericalアナライザ
 8.エネルギーフィルタ(製作済)
8.1.WienFilterの歴史と東北大・田中研
8.2.多極空芯コイルWienと北大・朝倉研
8.3.オメガフィルタ
8.4. 飛行時間フィルタTOF(株)北海光電子
9. 著者のページとその他のプロジェクト
110.1. EOS津野の事業内容
9.1. プリズムアレイビームセパレータ
9.2. 空間電荷効果考慮の軌道計算
9.3. スピンマニピュレータ・回転器
7.5. スピン回転器
9.4.　Wienフィルタのスピン回転器
9.5. Vortex(電子のらせん運動)
 　 10. ヨーロッパ旅行
.10.1. Czech訪問
.10.2. Hungaria訪問
.10.3. rumania訪問
.10.4. Irland訪問