EOS津野の事業内容 EOS津野では、下の表と図に示しますように、いろいろな電子光学機器のシミュレーション、シミュレーション ソフトの使い方や、光学系の原理についての講義、光学設計の仕様作りなどを行っています。他の個人や、 会社などと協力して、機械設計、電気設計とこれらの設計したものの製作も行います。 レンズや偏向系の光学設計 静電レンズ アインツェルレンズ リターディングレンズ バトラーレンズ 磁場レンズ TEM用レンズ SEM用レンズ >LEEM/PEEM用レンズ 静電偏向器 4極静電偏向器 8極静電偏向器 12極静電偏向器 磁場偏向器 4極サドルコイル 8極サドルコイル 16極サドルコイル その他特殊なレンズ設計、レンズと偏向系を組み合わせた、TEM, SEM, LEEM, PEEMなどの拡大 、縮小レンズ系の設計も相談に応じます。 エネルギーフィルタ 静電アナライザ 半球フィルタ 同心円フィルタ 磁場アナライザ セクター磁石アナライザ オメガフィルタ ウィーンフィルタ ウィーンフィルタ ウィーンフィルタ リターディング付 多極子ウィーンフィルタ 収差極小型 モノクロメータ 電子銃内ウィーンフィルタ 電子銃外ウィーンフィルタ リターディング付 多段磁場フィルタ Ω、α、γ型など エネルギーアナライザ、モノクロメータなどはその大きさ、複雑さ、性能などに大きな幅があり、装置としても 簡便なものから、開発に年のオーダーを必要とするものなどバラエティに富んでいます。 エネルギーフィルタとレンズ系を組み合わせた、分析電子顕微鏡の光学系も設計いたします。 モノクロメータは、電子銃内に設置する場合と、電子銃とは独立に設置する場合があります。 光学機器 ビームセパレータ ウィーンフィルタ型 セクター磁石 スピン回転器 ウィーンフィルタ型 電場・磁場重畳90°偏向型 ビームセパレータやスピン回転器は、エネルギーアナライザと装置的にはほとんど同じものを使いますが、 性能的にはエネルギーフィルタと比べて厳しくない場合が多いようです。ただ、SEM用のビームセパレータの 場合には、SEMとしての空間分解能に影響を与えないように収差に厳しい要求のある場合もあります。 電子光学関連講義 講義・コンサルタント 電子線分析装置の概略 透過型電子顕微鏡TEM、走査型電子顕微鏡の電子光学 表面分析電子顕微鏡PEEM, LEEMの電子光学 電子光学装置のシミュレーション法 いろいろの収差補正の原理とそのシミュレーション 取引先 北海道大学、産総研、KEK, 物質研、千葉大学、一橋大学、帝京大学、名古屋大学、三重大学、大阪電気通信大学、 兵庫県立大学、広島大学、佐賀大学。 菅製作所、北海光電子、トプコン、ホロン、日立製作所中央研究所、アプコ、テクネクス工房、東芝横浜事業所、 JFEスチール, 松定 最初のページに戻る コンタクト・質問は、こちらまで♪EOS津野"tsuno6@hotmail.com" 著者のページ Since 02JAN12

図1. ポジトロンSEM用対物レンズ 産総研 文献・大島先生、藤波先生 図2. 90°偏向型スピンマニピュレーター。 S. Nagai, H. Sakakibara, K. Hata, M. Okada, H. Mimura, Ultramicroscopy 111 (2011) 405-408. Measurement of z-direction component of electron spins field-emitted from a single-crystal magnetite whisker. 図3. 90°偏向セクター電場・磁場それぞれによるスピン回転。 図4. いろいろなSEMの対物レンズ 図5. 90°偏向セクター電場・磁場重畳型スピン回転器

作成日 2011/02/26 修正　2014/05/18