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偏向系とスティグメータ
静電偏向器
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.12極と20極偏向子
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.8極スティグメータ


収差補正のいろいろな方法
・ 電子レンズの球面収差と色収差
・ シェルツァーの前提
・ 第1章・4-8極子による球面収差Cs補正
・ 第2章・4極子による色収差Cc補正
・ ..2.1・電場・磁場4極子による色収差Cc補正
・ ..2.2・リターディング法電場4極子による色収差Cc補正
・ <第3章・Wien Correctorによる球面収差Cs色収差Cc補正
・ 第4章・Hexapoleによる球面収差Cs補正
・ 第5章・Mirrorによる球面収差Cs、色収差Cc補正

いろいろの「ウィーンフィルタ」
.一様電場・磁場の生成とWien条件 I
.一様電場・磁場の生成とWien条件 II
.4極場の導入による非点無結像
.多極子フィルターの作る電場と磁場の分布
.多極子ウィーン・フィルターの電子軌道

Wien Filterの設計法とその応用
・ 第1章・Wien Filterの設計と電場・磁場の計算
　　・ 第2章・Wien Filterの電極・磁極の形と電子の軌道
　　・ 第3章・いろいろなWien Filter
　　・ 第4章・Wien Filterの応用I・スピン回転器

エネルギーアナライザ
. 半透明ミラー
. 静電エネルギーアナライザCDA127
. 半球アナライザSDA180(HDA)

電子顕微鏡のハードウェア
.電子銃と照射レンズ
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--静電・磁場偏向器と非点補正器 --

EOS津野の
電子光学講座
電子の偏向器と非点補正器は、実に多くの方式が知られています。これは、最近、あっという間に 消えてしまったテレビのブラウン管のおかげと言えるでしょう。テレビの技術レベルから見ると 電子顕微鏡や電子線分析装置などの技術はお粗末なものに見えますが、それはその技術の開発に 携わった人の人数の違いによるものと思います。もう一つの大きな技術は電子線リソグラフィー 装置の開発です。こちらは大きくは開花しなかったといいますか、まだと言うべきなのかわかりません。 光のリソグラフィー技術がいずれ限界になるといわれながらまだ進歩を続けいているため、電子線 リソグラフィーには出番が回ってきません。しかし、電子の偏向技術などはこれによっても大きく 進歩しています。ここでは、電子顕微鏡などに応用されたことのある電子線偏向器やスティグメータ、 非点補正器についてお話してみます。
　 　 　　 　　 　　
電場偏向器
電極数電源数形状
4極
4x2		4x2
8極
8x2		8x2
12極子
12x2		4x2
20極子
20x2		4x2
 　　 　
電場非点補正子
電極数電源数形状
8極
8x2		Defと共用0
8極
Crewe*2		8
 　　 　　
磁場偏向子
電極数電源数形状
鞍型
2x2		2
トロイダル2
 　　 　　
磁場非点補正子
電極数電源数形状
45°
2x2		2
8極
金谷*1		2
2-coilx2
Liecke*3		2
*1: K. Kanaya, Reminiscences of the Developement of Electron Optics and Electron Microscope Instrumentation in Japan, Advances in Electronics and Electron Pgysics, Supplement 16, "The Beginning of Electron Microscopy, ed. by P. Hawkes, 1985"
*2: A. V. Crewe, High Intensity Electron Sources and Scanning Electron Microscopy, in Electron Microscopy in material science, ed. U. Valdre, Academic Press 1971.
*3: W. D. Riecke, Practical Lens Design, in Magnetic Electron Lenses, ed. PW Hawkes, Springer-Verlag, 1982.

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