電子線の分析装置の内、飛行時間法は最近になってようやく実用化の段階に 入ってきたところです。グリッドを使う半透明ミラー法は、1970年代から、 SEMの電子ビームテスティング(EBT)と言って、電子回路の電圧測定に盛んに 用いられた時代がありました。その分析法はエネルギー(電圧)分解能は低い ものでしたが、ローカルな電場の分布によって、二次電子の放出方向が乱され ても、電圧測定には支障がないという利点もありました。しかし、エネルギー 分析法の主流はなんといっても、エネルギーの違いによって分散を作る方法で あり、円筒や平板を使うミラー型と一様電場、磁場又はそれらの混合を使う プリズム型が主流となりました。ミラー型は表面分析装置に多く用いられて いましたが、最近ではその分野でもプリズム型の半球型(Hemispherical)フィルタ が大部分を占めるようになってきました。

ここでは、個々のエネルギー アナライザの説明に入る前に、電場、磁場および両者の混合場を使うことでビームの 直進性を確保したウィーンフィルタに共通した一次の光学特性について述べること します。エネルギーアナライザの解説書は多くの本などによって述べられていますが、 これら3つの方式に共通に使える式を紹介しているものはほとんどありません。どれかの 式を拡張して別の場の場合に当てはめようとしてもできないような式が使われている場合 もあります。プリズム型エネルギーアナライザの全体像をつかむのに共通の土台で 理解しておけば、装置ごとに別の式の出てくる本を眺めたときにもここに示す共通の 式に返って理解し直しておけば良いでしょう。