世界中のTEMメーカーは今や3社に絞られましたが逆にSEMは10社を超えるメーカーが 競っています。その中でも、試料とOLの間にET検出器を置いて、SEM独特のコントラスト を守り抜いているZeissと、何よりも空間分解能重視で世界の半導体検査用SEMの半分 以上のシェアを確保している日立が典型的なSEMのメーカーであると言えましょう。 ここでは、世界のSEMメーカーの国と メーカー名をご紹介します。20年以上前には、電子顕微鏡学会にはSEM開発の担当者は 小人数しか出席をしなかったものですが、今や電子のとれた顕微鏡学会では、SEM 担当者がその中心的存在となっています。電子顕微鏡学会を揺るがす大きな出来事と しては、生物学の形態学から遺伝学への進化に伴って、生物向けのTEMの需要が激減 したことがまず挙げられますが、かなりの数の生物学者が今やSEMに場所を写して活躍 しておられます。立体的に像が観察できるSEMは、生物試料のような複雑な系には、 その形態帯を知るのに便利だからでしょうか。形態学から遺伝学に移ったとはいっても、 やはり、自分の調べている試料の形状を知らなければ話にならないからでしょうか。 その他には、収差補正法の成功によって、むしろ、SEMでは高分解能は、半導体検査 装置などの人工生成物に対しては必要だけれど、自然界には原子分解能に到達出来 ないのであれば、収差補正を必要とするような高倍率で見たい対象は存在しない、 半導体などの人工生成物だけが数万倍以上の高倍率を必要としているものだという ことを明らかにしてくれました。ここでは、SEMの大きなメーカーである、Zeissと 日立ハイテクのSEMについてその構成を詳しくご紹介したのち、世界のSEMメーカーが 現在どれだけあるかをご紹介しましょう。私自身は、会社員時代はTEMの担当をして おりましたが、退職後の仕事として取り組んだのは、その多くがSEMでした。SEMは ここ10年間を見て見ましても、新規参入を目指して開発を始めたメーカーの数も多く、 、依然として、魅力ある開発対象と考えられる商品であり続けていると言えましょう。